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用STEM/EELS方法对原子进行二维观测

2007-12-5 10:45:21
来源:科学时报http://www.sciencenet.cn/田天




微结构定性对于复合物材料的研究很重要。例如,半导体装置由纳米尺度的部件组成,它们的性能表现取决于原子尺度的微结构。虽然电子显微镜能够分辨单个原子,但它不能区分它们的化学类型。将扫描透射电子显微镜(STEM)与电子能量损失光谱(EELS)结合起来,应能分析各列原子的化学组成,但实际存在的困难意味着完全的二维分析一直不可能进行。现在,这些问题中的其中一些已经被克服,STEM/EELS成像已被用来对层状水锰矿中的镧、锰和氧以二维图像方式进行观测。