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国内首台拥有自主知识产权的直写式光刻机在合肥问世

2007-12-27 09:07:28
来源：科学时报http://www.sciencenet.cn/

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mems存取法律保护工件台光刻光刻机获取集成电路技术创新曝光数字图书馆信息资源建设拥有原位检测知识产权直线电机专利自主创新自主知识产权
12月25日，国内首台具有世界领先水平、拥有自主知识产权的直写式光刻机在合肥问世，标志着我国亚微米级光刻机完全依赖进口的局面将被打破。图为科研人员展示一张刻有电子芯片电路图的成品晶元。

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